真空球阀是一种精简耐用且低成本的真空阀,手动或气动操作的直通隔离装置。有两通/ 三通/ 四通真空球阀可供选择。我们的球阀设计简单,坚固,可在肮脏的应用中提供高可靠性的真空管路隔离。真空球阀通常用于腔体或真空帮浦下游的MOCVD和CVD设备,以隔离陷阱。不锈钢阀体和特氟龙阀座使这些阀门成为腐蚀性环境的理想选择。尺寸ISO KF-16到 ISO100法兰。可配置手动/ 单动/ 双动气缸(作动器)。
真空级球阀
真空级二通球阀
真空级三通球阀
真空级四通球阀
Vacuum Ball valve 2 Way /3 way/ 4way Type
Specifications for Clamp & Weld End
SIZE |
DN |
ISO 5211 |
C |
L |
W |
Ød |
ØD |
R |
L1 |
1/2" |
15 |
F03 |
60 |
89 |
132 |
9.5 |
25.4 |
5 |
32.75 |
3/4" |
20 |
F03 |
64.5 |
101 |
131.5 |
15.8 |
25.4 |
5 |
36.5 |
1" |
25 |
F04 |
69.2 |
114 |
165 |
22.2 |
50.4 |
6.5 |
40 |
1-1/2' |
40 |
F05 |
89.26 |
140 |
194.3 |
35 |
50.4 |
8.5 |
43.5 |
2" |
50 |
F05 |
97.26 |
156 |
194.3 |
47.6 |
63.9 |
8.5 |
45.75 |
2-1/2" |
65 |
F07 |
126.8 |
197 |
252 |
60.3 |
77.5 |
12 |
56 |
3" |
80 |
F07 |
135.3 |
229 |
252 |
73 |
90.9 |
12 |
64.5 |
4" |
100 |
F10 |
158.8 |
242.7 |
332 |
97.4 |
118.9 |
16 |
60.6 |
Other SMS. DIN. RJT, IDF
Male/Male can be required.