商品特点:

独特的密封设计和几何形状让CF法兰有最佳密封性能，当在两个CF法兰的锥形密封边缘之间挤压平坦的OFE铜垫圈时，会发生垫圈材料的冷流(Cold Flow 不加温度仅加压力，可让OFE铜垫圈延力的方向变形的趋势)。该冷流受到与密封刀刃同心的垂直法兰壁或捕获槽的限制。远离密封区域的其他材料流动受到严格限制，并且产生了高界面压力。这些压力导致垫圈材料填充较小的表面缺陷并产生高度可靠的密封。在高温下，尽管垫圈软化，但“捕获”几何形状仍保持高压。CF法兰可烘烤至450°C并冷却至-200°C，适用于1x10-13 Torr的UHV超高真空。它们非常适合超高真空环境的严格要求，并能够通过高温偏移保持密封完整性。

认证:

• SEMI/EJMA

订购资讯:

• 最小订购量: Negotiable
• 自行开发商品