焊接波纹管, 焊接式波纹管, 真空波纹软管(Metal Welded Bellows)

焊接型波纹管

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商品型号: DTI-EDGE WELDED BELLOWS

焊接波纹管以多种不同方式设计在真空工业中。最常见的是机器的可移动部件，其需要保持真空对大气的防漏。波纹管可实现灵活性和防漏性。我们的波纹管的长度可压缩到很小，提供使用者绝佳的应用。我们提供可以弯曲数百万次使用寿命的波纹管。即使是超高真空 (UHV)应用，波纹管也满足清洁度，防漏性和性能要求。

在用于生产半导体的机器以及用于产生薄膜的腔室中，波纹管确保密封并且另外保持恒定的密封力。这是因为它灵活的本体与自身的弹簧力相结合。

移动并仍然保持特UHV的防漏是波纹管的要求。最常见的运动是轴向运动，从自由长度开始，波纹管可以被压缩约80％的长度并且膨胀拉伸约20％。可以执行角度运动以及横向运动。设计时横向移动需要更长的长度。一次作动是一个向前和向后运动。

当基板(Substrate Wafer)从一个腔体移动到另一个腔体时，夹持臂被波纹管包围起来时移动且精确定位芯片。对于通过机构或传感器的进给过程，我们的波纹管成功使用于半导体产业，并且外销至德国、美国、新加坡等国家。

Application for edged welded Bellows:

Accumulators

Beam Lines

Cassette Elevators

Chamber-Lift Bellows

Connectors

Couplings - Flexible & Torque

Flexible Connectors/Expansion Joints

Gas Line Flexible Connectors

Gate Valves

Heater Assemblies

Hermetic Feedthroughs

Leak Detectors

Lifters

Pedestal Lifts

Pin Lift Actuators

Reservoirs/Volume Compensators

Sensors

Slit Valves

Spindle Assemblies

Valve Door Modules

Valve Stem Seals

Vibration Isolators

Wafer-Lift Bellows

Wafer Handlers

Wafer Orienters

X-Y-Z Manipulators

1.Expansion Joint(EJMA Standard)
2.Flexible Joint(Manipulator Feedthrough)
3.Accumulator
4.Proportional Tempture Control
5.Packingless Valve, Aseptic Bellows Valve
6.Mechanical Sealing
7.Rotary seal housing
8.Pressure switch
9.Remote flow control
10.Flexible coupling
11.Steam trap

Welded Bellows Video