真空闸阀 主要用于控制进入腔体的气体流量,以隔离来自泵的真空体积,以隔离来
自HV或UHV工作室的进料口,并实现真空和大气之间的物体转移。因此,它们最
常用于离子注入系统,OMBD系统和电子束蒸发系统中,以用于诸如半导体制造等
高真空应用。它们还用于金属涂饰工艺和航空工业中,以开发防腐蚀涂料。
阀是全孔大流量的,不会阻碍流体流动,因此不会因摩擦而造成损失。
闸阀最常用于开/关应用,而不是调节流量。